Vakuuma pārklāšana, izvēloties izsmidzināšanas mērķa materiālus, šobrīd ir bijusi problēma cilvēkiem, jo uzputināšanas pārklājums, jo īpaši magnetronu izsmidzināšanas pārklāšanas prasmju attīstība, var teikt par jebkuru informāciju, lai varētu mērķēt uz plānu kārtiņu materiālu sagatavošanu. ar jonu bombardēšanu, jo, izsmidzinot mērķa materiālu pārklājuma procesā uz substrāta veidu, tas būtiski ietekmē izsmidzināšanas plēves kvalitāti, tāpēc mērķa materiāla prasības ir stingrākas.Šeit mēs uzzināsim par izsmidzināšanas mērķa lomu vakuuma pārklājumā kopā ar Beijing Relaxation redaktoru
一、Mērķa materiāla atlases princips un klasifikācija
Izvēloties mērķa materiālu, papildus pašas plēves izmantošanai ir jāņem vērā arī šādas problēmas:
Problēma 1. Saskaņā ar membrānas lietošanas un veiktspējas prasībām mērķa materiālam ir jāatbilst tehniskajām prasībām attiecībā uz tīrību, žurnāla saturu, komponentu viendabīgumu, apstrādes precizitāti un tā tālāk.
2. problēma. Mērķa materiālam pēc plēves veidošanas jābūt ar labu mehānisko izturību un ķīmisko stabilitāti;
3. uzdevums. Plēves materiālam ir nepieciešams viegli izveidot saliktu plēvi ar reakcijas gāzi kā reaktīvo izsmidzināšanas plēvi;
4. uzdevums. Ir nepieciešams iestatīt mērķi un matricu, lai tā būtu izturīga, pretējā gadījumā ir jāizmanto plēves materiāls ar labu adhēziju ar matricu, vispirms uzsmidziniet apakšējās plēves slāni un pēc tam sagatavojiet nepieciešamo plēves slāni;
5. jautājums. Ņemot vērā plēves veiktspējas prasību izpildi, jo mazāka ir atšķirība starp mērķa un matricas termiskās izplešanās koeficientu, jo labāk, lai samazinātu izsmidzināšanas plēves termiskā sprieguma ietekmi;
Vairāku bieži lietotu mērķu sagatavošana
(1) cr mērķis
Hroms kā izsmidzināšanas plēves materiāls ir ne tikai viegli savienojams ar pamatmateriālu, tam ir augsta adhēzija, bet hroma un oksīda CrQ3 plēvei, tās mehāniskās īpašības, skābes izturība un termiskā stabilitāte ir labākas.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd., kas galvenokārt nodarbojas ar: titāna mērķi cirkonija mērķi, alumīnija mērķi, niķeļa mērķi, hroma mērķi, volframa mērķi, molibdēna mērķi, vara mērķi, silīcija mērķi, niobija mērķi, tantala mērķi, titāna un silīcija sakausējumu Mērķis, titāna-niobija sakausējuma mērķis, titāna-volframa sakausējuma mērķis, titāna-cirkonija sakausējuma mērķis, niķeļa-hroma sakausējuma mērķis, silīcija-alumīnija sakausējuma mērķis, niķeļa-vanādija sakausējuma mērķis, hroma-alumīnija-silīcija trīskāršā sakausējuma mērķis. trīskāršā sakausējuma mērķa materiāls, ko plaši izmanto dekorēšanai / cietai virsmai un funkcionālam pārklājumam, arhitektūras stiklā, plakanā displejā / optiskajā fotoelektriskajā, optiskajā glabāšanā, elektronikā, drukāšanā un citās profesijās.
Izlikšanas laiks: jūnijs 02-2022