Daudzi lietotāji neapsver mērķu iegādi no profesionālā viedokļa, tāpēc kam jāpievērš uzmanība, iegādājoties mērķus?Lūgsim Xiaobian no Pekinas Ruichi norādīt uz jautājumiem, kam jāpievērš uzmanība, pērkot mērķus.
Pirmkārt, mērķim tīrība ir viens no tā galvenajiem funkcionālajiem rādītājiem, un mērķa tīrībai ir liela ietekme uz vēlākās produkta plēves darbību.Katram produktam ir arī atšķirīgas prasības mērķa tīrībai.
Otrkārt, atsevišķu elementu piemaisījumu saturs mērķī.Pēc virknes mērķa apstrādes piemaisījumi mērķa cietajā vielā un skābeklis un ūdens tvaiki porās ir galvenie nogulsnēto plēvju piesārņojuma avoti.Sakarā ar dažādu mērķu izmantošanu, prasības attiecībā uz dažādu piemaisījumu saturu mērķos ar dažādiem lietojumiem arī ir atšķirīgas.Piemēram, tīra alumīnija un alumīnija sakausējuma mērķiem, ko izmanto pusvadītāju rūpniecībā, tagad ir īpašas prasības attiecībā uz sārmu metālu un radioaktīvo elementu saturu.
Blīvums ir arī viens no svarīgākajiem mērķa veiktspējas rādītājiem Mērķa tehniskajā procesā, lai samazinātu poras mērķa cietajā vielā un uzlabotu izsmidzinātās plēves darbību, parasti mērķim ir jābūt augstam blīvumam.Mērķa galvenajam raksturīgajam blīvumam ir liela ietekme uz izsmidzināšanas ātrumu un tas ietekmē plēves elektriskās un optiskās funkcijas.Jo lielāks mērķa blīvums, jo labāka ir plēves funkcija.
Visbeidzot, graudu izmērs un graudu sadalījums.Parasti mērķa materiāls ir polikristālisks, un graudu izmērs var svārstīties no mikroniem līdz milimetriem.Tam pašam mērķim smalko graudu mērķa izsmidzināšanas ātrums ir ātrāks nekā rupjo graudu mērķa izsmidzināšanas ātrums;Ar mērķa izsmidzināšanu uzklāto plēvju biezums ar nelielu graudu izmēra atšķirību (vienmērīga dispersija) ir vienmērīgāks.
Publicēšanas laiks: 10. jūnijs 2022