Izsmidzinātajiem mērķa materiāliem lietošanas laikā ir augstas prasības ne tikai tīrībai un daļiņu izmēram, bet arī vienmērīgam daļiņu izmēram.Šīs augstās prasības liek mums pievērst lielāku uzmanību, izmantojot izsmidzināšanas mērķa materiālus.
1. Izsmidzināšanas sagatavošana
Ir ļoti svarīgi uzturēt vakuuma kameras, īpaši izsmidzināšanas sistēmas, tīrību.Smērvielas, putekļi un jebkādi iepriekšējo pārklājumu atlikumi var uzkrāties piesārņotājus, piemēram, ūdeni, tieši ietekmējot vakuumu un palielinot plēves veidošanās neveiksmes iespējamību.Īssavienojumus, mērķa loku, raupjas plēvi veidojošas virsmas un pārmērīgus ķīmiskos piemaisījumus parasti izraisa netīras izsmidzināšanas kameras, pistoles un mērķi.
Lai saglabātu pārklājuma sastāva īpašības, izsmidzināšanas gāzei (argonam vai skābeklim) jābūt tīrai un sausai.Pēc substrāta uzstādīšanas izsmidzināšanas kamerā ir nepieciešams izsūknēt gaisu, lai sasniegtu procesam nepieciešamo vakuuma līmeni.
2. Mērķa tīrīšana
Mērķa tīrīšanas mērķis ir noņemt putekļus vai netīrumus, kas var būt uz mērķa virsmas.
3. Mērķa uzstādīšana
Svarīgākais, kam jāpievērš uzmanība mērķa materiāla uzstādīšanas procesā, ir nodrošināt labu termisko savienojumu starp mērķa materiālu un izsmidzināšanas pistoles dzesēšanas sienu.Ja dzesēšanas siena vai aizmugures plāksne ir stipri izliekta, tā var izraisīt plaisāšanu vai saliekšanos mērķa materiāla uzstādīšanas laikā.Siltuma pārnese no aizmugures mērķa uz mērķa materiālu tiks ievērojami ietekmēta, kā rezultātā izsmidzināšanas laikā nevarēs izkliedēt siltumu, kas galu galā novedīs pie mērķa materiāla plaisāšanas vai novirzes.
4. Īsslēguma un blīvējuma pārbaude
Pēc mērķa materiāla uzstādīšanas ir jāpārbauda visa katoda īssavienojums un blīvējums.Lai noteiktu, vai katodam ir īssavienojums, ieteicams izmantot ommetru un megohmetru.Pēc apstiprināšanas, ka katodam nav īssavienojuma, var veikt noplūdes noteikšanu, iesmidzinot katodā ūdeni, lai noteiktu, vai nav noplūdes.
5. Mērķa materiāla pirms izsmidzināšanas
Mērķa materiāla iepriekšējai uzputināšanai ieteicams izmantot tīru argona gāzi, kas var notīrīt mērķa materiāla virsmu.Ieteicams lēnām palielināt izsmidzināšanas jaudu mērķa materiāla pirmsputināšanas procesa laikā.Keramikas mērķa materiāla spēks
Izlikšanas laiks: 19. oktobris 2023