Mērķa materiālam, ko izmanto datu uzglabāšanas nozarē, ir nepieciešama augsta tīrība, un līdz minimumam jāsamazina piemaisījumi un poras, lai izvairītos no piemaisījumu daļiņu rašanās izsmidzināšanas laikā.Mērķa materiālam, ko izmanto augstas kvalitātes izstrādājumiem, ir jābūt mazam un viendabīgam kristāla daļiņu izmēram un bez kristāla orientācijas.Tālāk apskatīsim optiskās atmiņas nozares prasības mērķa materiālam?
1. Tīrība
Praktiskā pielietojumā mērķa materiālu tīrība atšķiras atkarībā no dažādām nozarēm un prasībām.Tomēr kopumā, jo augstāka ir mērķa materiāla tīrība, jo labāka ir izsmidzinātās plēves veiktspēja.Piemēram, optiskās uzglabāšanas nozarē mērķa materiāla tīrībai ir jābūt lielākai par 3N5 vai 4N
2. Piemaisījumu saturs
Mērķa materiāls kalpo kā katoda avots izsmidzināšanā, un piemaisījumi cietajā vielā un skābekļa un ūdens tvaiki porās ir galvenie piesārņojuma avoti plānu kārtiņu nogulsnēšanai.Turklāt ir īpašas prasības dažādu lietojumu mērķiem.Par piemēru ņemot optiskās atmiņas nozari, piemaisījumu saturs izsmidzināšanas mērķos ir jākontrolē ļoti zemā līmenī, lai nodrošinātu pārklājuma kvalitāti.
3. Graudu lielums un izmēru sadalījums
Parasti mērķa materiālam ir polikristāliska struktūra, graudu izmēri svārstās no mikrometriem līdz milimetriem.Mērķiem ar tādu pašu sastāvu smalkgraudainu mērķu izsmidzināšanas ātrums ir ātrāks nekā rupjo graudu mērķu izsmidzināšanas ātrums.Mērķiem ar mazākām graudu izmēra atšķirībām arī nogulsnētās plēves biezums būs vienmērīgāks.
4. Kompaktums
Lai samazinātu porainību cietajā mērķa materiālā un uzlabotu plēves veiktspēju, parasti ir nepieciešams, lai izsmidzināšanas mērķa materiālam būtu augsts blīvums.Mērķa materiāla blīvums galvenokārt ir atkarīgs no sagatavošanas procesa.Mērķa materiāls, kas ražots ar kausēšanas un liešanas metodi, var nodrošināt, ka mērķa materiāla iekšpusē nav poru un blīvums ir ļoti augsts.
Izlikšanas laiks: 18. jūlijs 2023