Ievads mērķa darbībā un lietošanā

Runājot par mērķa produktu, tagad lietojumprogrammu tirgus ir arvien plašāks, taču joprojām ir daži lietotāji, kas nav īpaši izpratuši par mērķa izmantošanu, ļaujiet RSM tehnoloģiju departamenta ekspertiem par to sniegt detalizētu ievadu,

　　1. Mikroelektronika

Visās lietojuma nozarēs pusvadītāju nozarei ir visstingrākās prasības attiecībā uz mērķa izsmidzināšanas plēves kvalitāti.Tagad ir ražotas 12 collu (300 deguna asiņošanas) silīcija vafeles.Starpsavienojuma platums samazinās.Silīcija vafeļu ražotāji pieprasa mērķa lielumu, augstu tīrību, zemu segregāciju un smalku graudu, kas prasa labāku ražotā mērķa mikrostruktūru.

　　2, displejs

Plakanā paneļa displejs (FPD) gadu gaitā ir ļoti ietekmējis uz katodstaru lampām (CRT) balstīto datoru monitoru un televīzijas tirgu, kā arī veicinās tehnoloģiju un tirgus pieprasījumu pēc ITO mērķa materiāliem.Ir divu veidu iTO mērķi.Viens no tiem ir pēc saķepināšanas izmantot indija oksīda un alvas oksīda pulvera stāvokli nanometru stāvoklī, otrs ir izmantot indija alvas sakausējuma mērķi.

　　3. Uzglabāšana

Runājot par uzglabāšanas tehnoloģiju, augsta blīvuma un lielas ietilpības cieto disku izstrādei ir nepieciešams liels skaits milzu plēves materiālu.CoF ~ Cu daudzslāņu kompozītmateriāla plēve ir plaši izmantota milzu pretestības plēves struktūra.Magnētiskajam diskam nepieciešamais TbFeCo sakausējuma mērķa materiāls joprojām tiek izstrādāts.Magnētiskajam diskam, kas ražots ar TbFeCo, ir liela uzglabāšanas ietilpība, ilgs kalpošanas laiks un atkārtota bezkontakta dzēšana.

　　Mērķa materiāla izstrāde:

Pusvadītāju integrālajās shēmās (VLSI), optiskajos diskos, plakanajos displejos un sagataves virsmas pārklājumos plaši izmantoti dažādi izsmidzināšanas plānslāņa materiāli.Kopš 90. gadiem izsmidzināšanas mērķa materiālu un izsmidzināšanas tehnoloģiju sinhronā attīstība ir lielā mērā apmierinājusi dažādu jaunu elektronisko komponentu izstrādes vajadzības.