Lai atbalstītu plēves pjezoelektrisko MEMS (pMEMS) sensoru un radiofrekvenču (RF) filtru komponentu nozari, Rich Special Material Co., Ltd. ražotais alumīnija skandija sakausējums tiek īpaši izmantots ar skandiju leģētu alumīnija nitrīda plēvju reaktīvai nogulsnēšanai. .
Plānās plēves pjezoelektriskos materiālus arvien vairāk izmanto automobiļu, rūpniecisko un personīgo elektronisko iekārtu ražošanā.Lietojumprogrammas ietver uz pmt balstītus pirkstu nospiedumu sensorus un žestu atpazīšanas ierīces, MEMS mikrofonus, rezonatoru balstītus ķīmiskos sensorus un medicīniskos sensorus.Turklāt, lai realizētu RF filtrus 5G tīkla lietojumprogrammām, arvien vairāk ir nepieciešamas alumīnija nitrīda plēves, kas leģētas ar skandiju.Tajā pašā laikā alumīnija skandija sakausējuma daudzums palielinās.
Al Sc sakausējuma īpašības
Ļoti konsekventa ķīmiskā viendabība visā sakausējumā
Ļoti konsekventa plēves ķīmiskā viendabība visā mikroshēmas un sakausējuma kalpošanas laikā
Tīrība> 99,9%, zems skābekļa saturs, zems kritisko piesārņotāju saturs
Stingri kontrolējiet mikrostruktūru, lai sasniegtu vislabāko izsmidzināšanas veiktspēju
Vakuuma liets, pilnībā blīvs sakausējums ar zemu adhēziju, zemu mainīgumu un zemu granularitāti
Rich Special Material Co., Ltd. atbalsta dažādus sakausējumu kausēšanas, mērķa pielāgošanas un pētniecības un attīstības pakalpojumus.
Izlikšanas laiks: 11.11.2022